技术:金属齿轮尺寸减小

2019-02-03 09:12:01

作者:华盛顿特区的DAN CHARLES威斯康星大学的一个工程师团队制作了一个比人类头发直径大的金属齿轮齿轮可用于微小传感器以检测运动或压力变化 “据我所知,”该团队的负责人亨利·盖克尔说,“我们制造了迄今为止最小的金属齿轮”该大学工程力学教授爱德华·洛弗尔解释说,他和他的同事正在尝试使用齿轮制造“微机械”,其中一些只有100微米,并正在探索可能的商业应用以前的微机械都是用硅制造的,因为微芯片工业已经有很好的制造硅元件的技术但硅很脆,碎片很容易脱落,从而在机器中产生砂砾为了制造新微机械的每个部件,由一种称为同步加速器的粒子加速器产生的X射线束穿过模板 X射线落在涂有有机玻璃的薄金属膜上模板的形状与机器的轮子和轴完全相同,因此这些图案被转移到有机玻璃上 X射线引起有机玻璃中的化学变化,因此研究人员可以用化学物质冲洗掉被照射的部分,并留下有机玻璃的未暴露部分这些化学物质留下有机玻璃中的微小空腔,形状与所需金属部件完全相同然后使用电镀将镍沉积到空腔中下一步是从模具中取出零件有机玻璃放在薄薄的金属薄膜上 - 威斯康星州的团队使用铬或钛 - 由硅基层支撑在金属膜和硅之间是仅1微米厚的聚酰亚胺层,称为“牺牲层”当研究人员将金属电镀到模具中时,它们会溶解牺牲层,